成人直播 明星实验室——微纳加工实验室

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为丰富学院实验室建设活动,提升实验室和实验设备的利用率,成人直播 于2025年持续开展明星实验室巡展活动,本期巡展微纳加工实验室,该实验室为成人直播 科研实验室。

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实验室负责人为高梦宇,教授,主要从事基于微纳加工技术的光场、光谱调控,基于微纳加工技术的三相界面性质调控以及微纳加工技术在新能源领域应用等。该实验室于2022年1月建成,具有百级、千级超净实验室各一间。实验室配备有双光子三维光刻机(Professional GT2)一台,是青海省内唯一具有180 nm加工能力的无掩模光刻平台。相关配套设施包括台阶膜厚仪(Alpha-Step D300)、匀胶机(WS-650MZ)、光学平台(M-OEK-STD)等设备,可实现微纳结构的设计、制备以及性能测试和表征工作。

双光子三维光刻机:设备基于双光子曝光工艺以实现三维立体微纳结构的制备;二维线宽可达160 nm,二维分辨率可达500 nm;三维线宽可达200 nm,三维分辨率可达800 nm;三维Z轴方向特征尺度可达1 μm;具有自动侦测光刻胶和界面的功能,在使用高数值孔径物镜的条件下,能找到的界面的精度达到±150 nm;能够对衬底的倾斜进行自动检测并进行相应的坐标转换以维持所设计器件不失真;设备能够根据工件台的移动情况实时对激光能量调整以维持恒定的线宽。

宏观角分辨光谱系统:快速实现7种光谱测量模式,具有Polka分束镜,集成 Fluorite 消色差萤石透镜,内置卤素光源,波长范围250-1000 nm。光谱测量系统可以测量样品在不同偏振态下的光谱特性和样品各向异性的光谱特征。

接触角测试仪:接触角表面性能测定仪可完成对大样品和高温、高真空、惰性气体保护下的测试需求,具有扩展性强、自动化程度高、应用广泛等优点。主要功能包括:座滴法测量动、静态接触角;测量滚动角;计算固体的表面自由能;分析液体表面张力及其组成;记录吸附材料的吸收过程;计算及分析粘附功。

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本实验室积极开放共享,提供微纳加工服务,支持学生课外预约,开展竞赛项目。